- 製品 - Physik Instrumente (PI) SE & Co. KG
PIの高速XYZナノポジショナー： 99.97%の直線性を誇る比類ない精度で、産業・研究分野における生産性を向上
PIMarsシステムは、その比類ない性能により、精度が重要となる用途に大きな付加価値をもたらします。 99.97%の直線性と2 nmの再現性を実現し、最大300 µmのトラベルレンジと10 ms未満のステップ＆整定時間を兼ね備えています。 優れた平面性（Z軸動作における±30 nmの真直度と平坦度）により、複雑なセットアップにおいても優れた精度を実現します。
効率性とプロセス信頼性
産業用途や厳しい研究環境では、長期的な安定性とプロセス信頼性が求められます。そのため、ダウンタイムを最小限に抑え、メンテナンスコストを削減する必要です。 PIMarsシステムは、並列位置測定機能とピエゾ駆動を備えているため、高速かつナノメートルレベルの動作精度を実現します。 速度と精度の組み合わせで、重要な用途においても生産性を向上させます。 このモーションテクノロジーは、振動・衝撃・温度変化にかかわらず、摩耗がなく、剛性と堅牢な状態を維持します。 遊びの無いフレクシャガイドも重要な役割を果たしています。
研究・産業分野の幅広い用途に対応
PIの高精度XYZナノポジショニングシステムは、さまざまな応用分野に対応します。 顕微鏡・ライフサイエンス分野では、超解像顕微鏡、共焦点顕微鏡、原子間力顕微鏡（AFM）、生細胞イメージングにおいて、超高精度を実現します。 フォトニクス・光学分野では、ファイバー・光学アライメント、干渉測定、精密光学調整といった課題に取り組んでいます。 さらに、開口部によって柔軟性に優れており、ビームアライメント作業やその他のさまざまなフォトニクス・顕微鏡用途への対応が容易になります。 半導体・計測分野では、XYZナノポジショニングシステムは、ウェハー検査、リソグラフィ、マスクアライメント、欠陥検出などの用途で使用されています。 PIのシステムは、ナノ構造の精密な操作や組立など、ナノテクノロジー分野にも大きく貢献しています。
詳細についてはこちらをご覧ください： P-561 • P-562 • P-563 PIMarsナノポジショニングステージ
Physik Instrumente (PI)の概要
Physik Instrumente (PI) は、ドイツのカールスルーエに本社を置く、産業オートメーション、フォトニクス、半導体産業、顕微鏡＆ライフサイエンスなどの分野で、高精度位置決め技術とピエゾアプリケーションの市場と技術をリードする企業です。 PIの1,900名を超えるスペシャリストたちは、世界中のお客様と密接に協力しながら、50年以上にわたって技術的な可能性の限界を押し広げてきました。 その基盤となるのが、各種ドライブ技術、自社開発のセンサー技術、エレクトロニクス、制御技術です。 PIのポートフォリオは、コンポーネントからサブシステム、オーダーメイドの完全なソリューションまで多岐にわたります。 560件を超える取得済みおよび出願中の特許の数は、精密位置決めとピエゾ技術の分野における同社のリーダーシップを明確に示しています。 PIはグローバルに事業を展開しており、欧州、北米、アジアに生産拠点を9か所と営業＆サービス支店を16か所有しています。