- 製品 - Physik Instrumente (PI) SE & Co. KG
2相慣性駆動式の小型リニアステージ：最小スペースで高精度と長期安定性を実現
内蔵の圧電2相慣性駆動技術（BIX）は、スティックスリップ原理を利用して、最大14 mm/sの速度で微小な動きを動的に実行します。 この小型リニアステージは、10 nmの最小インクリメンタルモーションと最大6 nmの分解能を備えており、ビーム操作用の光学部品のアライメントなど、ナノメートル単位の精度が求められる、要求の厳しい位置決め用途に最適です。 内蔵のセルフロッキング機構により、位置安定性を確保します。これは、特に長期にわたる安定した測定やアライメント工程に有益です。
コンパクトで柔軟な設計
わずか25 × 29 × 11 mmの寸法とスタッキング可能な設計により、B‑421 BIX小型リニアステージは、多軸システムと容易に組み合わせることができます。 この優れた柔軟性により、複雑な位置決めやアライメント用途に最適なソリューションとなっています。
小型ながら優れた耐荷重を実現
最大駆動力2.5 NのB‑421 BIXリニアステージは、機械荷重下での精密な動作を必要とする作業にも対応できます。 最大耐荷重は、XY方向で0.5 kg、Z方向で0.15 kgです。 ステージは、駆動技術向けに最適化されたE-881 BIXモーションコントローラーによって制御されます。
要求の厳しいハイテク用途向け
この小型リニアステージは、優れた位置決め精度、卓越した分解能、狭いスペースでの長期安定性といった特長を備え、複雑な産業や顕微鏡用途における最も厳しい要件に対処します。 光学素子を精密に位置決めすることで、正確なビームシェイピングとビームステアリングを実現します。 半導体業界では、この用途は特にマイクロチップの品質管理に利用されています。 顕微鏡検査では、TIRF顕微鏡やSTED顕微鏡といった最新の高分解能手法において、光ビームの正確なステアリングが不可欠です。
Physik Instrumente (PI) の概要
Physik Instrumente (PI) は、ドイツのカールスルーエに本社を置く、産業オートメーション、フォトニクス、半導体産業、顕微鏡＆ライフサイエンスなどの分野で、高精度位置決め技術とピエゾアプリケーションの市場と技術をリードする企業です。 PIの1,900名を超えるスペシャリストたちは、世界中のお客様と密接に協力しながら、50年以上にわたって技術的な可能性の限界を押し広げてきました。 その基盤となるのが、各種駆動技術、自社開発のセンサー技術、エレクトロニクス、制御技術です。 PIのポートフォリオは、コンポーネントからサブシステム、オーダーメイドの完全なソリューションまで多岐にわたります。 560件を超える取得済みおよび出願中の特許の数を保有するPIは、精密位置決めとピエゾ技術の分野で、業界をリードしています。 PIはグローバルに事業を展開しており、欧州、北米、アジアに生産拠点を9か所と営業＆サービス支店を16か所を有しています。