- 製品 - Physik Instrumente (PI) SE & Co. KG
PIHera 小型XY軸ピエゾステージ：超高精度モーションとコンパクトながら長期にわたる安定性能を実現した位置決めシステム
ピエゾセラミックアクチュエーターは、PIHera XYステージのコアとなる駆動部です。PIでは、自社で製造したPICMA®多層アクチュエーターを採用しています。これらのアクチュエーターは、オールセラミック絶縁体により湿度に強いため、高い信頼性と耐久性が特徴です。
超高精度な位置決め精度
高品質の静電容量センサーにより、サブナノメートルレンジでの位置決めを優れた再現性と安定性を兼ね備えて実現します。バックラッシュフリーのフレクシャガイドにより、高いガイド精度が得られます。
幅広い用途に対応可能で供給も迅速
XYピエゾステージP-621.2CD、P-622.2CD、P-625.2CD、P-628.2CDのトラベルレンジは120 µm～1000 µmで、幅広いアプリケーションに対応します。例えば半導体やフォトニクス業界では、レーザーシステムや光学部品のアライメント用干渉計や、ウェハー検査に使用されています。XYステージは、顕微鏡検査においても、サンプルや物体をナノメートル精度で位置決めおよび安定化するために幅広く使用されています。
リードタイムが短いため、時間的な制約のあるプロジェクトでも効率的に推進できます。
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Physik Instrumente (PI) の概要
Physik Instrumente (PI) は、ドイツのカールスルーエに本社を置く、産業オートメーション、フォトニクス、半導体産業、顕微鏡＆ライフサイエンスなどの分野で、高精度位置決め技術とピエゾアプリケーションの市場と技術をリードする企業です。PIの1,700名を超えるスペシャリストたちは、世界中のお客様と密接に協力しながら、50年以上にわたって技術的な可能性の限界を押し広げてきました。その基盤となるのが、各種駆動技術、自社開発のセンサー技術、エレクトロニクス、制御技術です。PIのポートフォリオはコンポーネントからサブシステム、オーダーメイドの完全なソリューションまで多岐にわたります。560件を超える取得済みおよび出願中の特許の数は、精密位置決めとピエゾ技術の分野における同社のリーダーシップを明確に示しています。PIはグローバルに事業を展開しており、欧州、北米、アジアに生産拠点を9か所と営業＆サービス支店を16か所展開しています。