H-850.G2IV
高精度ヘキサポッド、直流ギヤモーター、ロータリーエンコーダー、耐荷重：25 kg、最大速度：2.5 mm/s、10-6 hPaまでの真空対応、2 mの真空側ケーブルセット、フィードスルー。 大気側接続ケーブルは同梱されていませんので、別途ご注文ください。
H-850.x2IV 真空対応ヘキサポッド
最大耐荷重80 kg
- 真空度：最大10-6 hPa
- 再現性：最大±0.2 µm
- トラベルレンジ：±50 mm / ±50 mm / ±25 mm
- 回転レンジ：±15° / ±15° / ±30°
H-850.x2IV、寸法（単位：mm）。公称トラベルレンジが0の場合の寸法です
H-850.x2IV 真空対応ヘキサポッド
製品の解説
仕様
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用途
H-850.x2IVは高精度であるため、真空用途における部品の位置決めや位置調整に最適です。真空状態を損なうことなく、サブミクロン精度の6自由度（6DoF）を提供します。
産業や研究の分野における主な用途には、真空チャンバー内における光学部品の高精度アライメント、リソグラフィおよび検査システムの位置決めやアライメント、研究施設のビームラインにおけるサンプルやビーム光学系のアライメント、さらには衛星や光学センサーの真空試験チャンバー内における部品のアライメントや移動などが挙げられます。
高荷重における高精度位置決め
優れた耐荷重性（80 kg）と確かな信頼性を誇るH-850.x2IVは、真空環境における重量級の試験体やサンプルの高精度位置決めに主に使用されています。 H-850.x2IVは、10-6 hPaまでの真空環境に対応。
高い自己保持力により優れた位置安定性が確保されるため、このヘキサポッドは、電力が供給されていなくてもその位置を維持できます。
パラレルキネマティック構造
6自由度のパラレルキネマティック構造により、このヘキサポッドは、同等のシリアルキネマティックシステムに比べてはるかにコンパクトで、高い剛性を実現します。 シリアル（積層型）システムと比較した場合の主な利点は、移動精度と再現性の向上です。 さらに、移動質量が小さいため、すべての動作軸で一貫してダイナミクスが向上します。 ケーブルを移動させる必要がないため、ケーブル管理も問題になりません。
システム全体を保護するための動作シミュレーション
無償でダウンロード可能なPIVirtualMoveソフトウェアは、H-850.x2IVのトラベルレンジ、アライメント、許容力、トルクをシミュレーションし、最適なシステム構成の実現に役立ちます。 このシミュレーションでは、選択した回転中心と荷重重心の両方が考慮されます。
ヘキサポッドコントローラーに同梱されている無償ソフトウェアパッケージには、ワーク・ツール座標系やエミュレーションツールが含まれています。 提供されるツールは、真空環境における光学部品などの重要な部品の保護に役立ちます。
仕様
仕様
Select a travel range:
| Motion | H-850.G2IV | H-850.H2IV | Tolerance |
|---|---|---|---|
| Active axes | X ǀ Y ǀ Z ǀ θX ǀ θY ǀ θZ | X ǀ Y ǀ Z ǀ θX ǀ θY ǀ θZ | |
| Travel range in X | ± 50 mm | ± 50 mm | |
| Travel range in Y | ± 50 mm | ± 50 mm | |
| Travel range in Z | ± 25 mm | ± 25 mm | |
| Rotation range in θX | ± 15 ° | ± 15 ° | |
| Rotation range in θY | ± 15 ° | ± 15 ° | |
| Rotation range in θZ | ± 30 ° | ± 30 ° | |
| Maximum velocity in X | 2.5 mm/s | 0.15 mm/s | |
| Recommended velocity in X | 2 mm/s | 0.1 mm/s | |
| Maximum velocity in Y | 2.5 mm/s | 0.15 mm/s | |
| Recommended velocity in Y | 2 mm/s | 0.1 mm/s | |
| Maximum velocity in Z | 2.5 mm/s | 0.15 mm/s | |
| Recommended velocity in Z | 2 mm/s | 0.1 mm/s | |
| Maximum angular velocity in θX | 30 mrad/s | 1.8 mrad/s | |
| Recommended angular velocity in θX | 25 mrad/s | 1.2 mrad/s | |
| Maximum angular velocity in θY | 30 mrad/s | 1.8 mrad/s | |
| Recommended angular velocity in θY | 25 mrad/s | 1.2 mrad/s | |
| Maximum angular velocity in θZ | 30 mrad/s | 1.8 mrad/s | |
| Recommended angular velocity in θZ | 25 mrad/s | 1.2 mrad/s | |
| Positioning | H-850.G2IV | H-850.H2IV | Tolerance |
| Minimum incremental motion in X | 1 µm | 0.3 µm | typ. |
| Minimum incremental motion in Y | 1 µm | 0.3 µm | typ. |
| Minimum incremental motion in Z | 0.5 µm | 0.2 µm | typ. |
| Minimum incremental motion in θX | 7.5 µrad | 3 µrad | typ. |
| Minimum incremental motion in θY | 7.5 µrad | 3 µrad | typ. |
| Minimum incremental motion in θZ | 15 µrad | 5 µrad | typ. |
| Unidirectional repeatability in X | ± 0.5 µm | ± 0.5 µm | typ. |
| Unidirectional repeatability in Y | ± 0.5 µm | ± 0.5 µm | typ. |
| Unidirectional repeatability in Z | ± 0.2 µm | ± 0.2 µm | typ. |
| Unidirectional repeatability in θX | ± 3 µrad | ± 3 µrad | typ. |
| Unidirectional repeatability in θY | ± 3 µrad | ± 3 µrad | typ. |
| Unidirectional repeatability in θZ | ± 7.5 µrad | ± 7.5 µrad | typ. |
| Backlash in X | 8 µm | 6 µm | typ. |
| Backlash in Y | 8 µm | 6 µm | typ. |
| Backlash in Z | 1.5 µm | 0.5 µm | typ. |
| Backlash in θX | 25 µrad | 7.5 µrad | typ. |
| Backlash in θY | 25 µrad | 7.5 µrad | typ. |
| Backlash in θZ | 90 µrad | 60 µrad | typ. |
| Drive properties | H-850.G2IV | H-850.H2IV | Tolerance |
| Drive type | DC gear motor | DC gear motor | |
| Nominal voltage | 24 V | 24 V | |
| Mechanical properties | H-850.G2IV | H-850.H2IV | Tolerance |
| Stiffness in X | 3.5 N/µm | 4 N/µm | |
| Stiffness in Y | 3.5 N/µm | 4 N/µm | |
| Stiffness in Z | 50 N/µm | 60 N/µm | |
| Maximum load capacity, base plate horizontal | 25 kg | 80 kg | |
| Maximum load capacity, base plate in any orientation | 10 kg | 40 kg | |
| Maximum holding force, base plate horizontal | 250 N | 2000 N | |
| Maximum holding force, base plate in any orientation | 85 N | 500 N | |
| Drive screw type | Ball screw | Ball screw | |
| Overall mass | 17 kg | 17 kg | |
| Material | アルミニウム | アルミニウム | |
| Miscellaneous | H-850.G2IV | H-850.H2IV | Tolerance |
| Operating temperature range | -10～50 °C | -10～50 °C | |
| Vacuum class | 10⁻⁶ ǀ hPa | 10⁻⁶ ǀ hPa | |
| デューティサイクル | 5 % | 10 % | |
| Connector for data transmission | HD D-sub 78 (m) | HD D-sub 78 (m) | |
| Connector for supply voltage | M12 4-pole (m) | M12 4-pole (m) | |
| Cable length | 2 m | 2 m | |
| Recommended controllers/drivers | C-887.5x | C-887.5x |
デューティサイクルは、ヘキサポッドの最大許容動作時間を定めたものです。過剰な発熱によるヘキサポッドの損傷を防ぐため、動作後には必ず休止時間を設ける必要があります。 H-850.x2IVの連続動作におけるデューティサイクルは、推奨速度で最大動作時間15分と定められています。 真空内での連続動作時は、発熱のため、動作パラメーターの制限が必要になる場合があります。
大気側接続ケーブルは同梱されていませんので、別途ご注文ください。
ご要望に応じてカスタムバージョンもご利用いただけます。
When measuring position specifications, typical velocity is used. The data is included in the delivery of the product in the form of a measurement report and is stored at PI.
The maximum travel ranges of the individual coordinates (X, Y, Z, θX, θY, θZ) are interdependent. The data for each axis shows its maximum travel range when all other axes are in the zero position of the nominal travel range and the default coordinate system is in use, or rather when the pivot point is set to 0,0,0.
PI では、技術データは 22 ±3 ℃ において規定されています。 記載がない限り、数値は負荷のない条件のもとにあります。 一部の特性は相互に依存しています。 「typ.」の表記は、特性の統計的な平均値を示すものであり、供給されるすべての製品に対して保証値を示すものではありません。 製品の最終検査では、すべての特性ではなく、選択された特性のみが分析されます。 一部の製品特性は、使用時間の増加に伴って劣化する可能性がある点にご注意ください。
見積 / 発注
必要な数量、価格、およびリードタイムに関する無料の見積を依頼するか、必要な編集について説明します。オンラインで提供されるすべての製品は直接発注できます。
H-850.H2IV
高精度ヘキサポッド、直流ギヤモーター、ロータリーエンコーダー、耐荷重：80 kg、最大速度：0.15 mm/s、10-6 hPaまでの真空対応、2 mの真空側ケーブルセット、フィードスルー。 大気側接続ケーブルは同梱されていませんので、別途ご注文ください。
