A-63x エアーベアリング付き PIglide RL 平面回転ステージ

Friction-free, Motorized

  • 150 mm、200 mm、または 350 mm
  • モーションプラットフォームの直径
  • 薄型
  • 偏心および平面度:100 nm未満
  • 静止時に磁気プリロードでセルフロックする機能(オプション)
A-63x エアーベアリング付き PIglide RL 平面回転ステージ
製品の解説 仕様 ダウンロード 見積 / 発注

製品概要

PIglide RLシリーズのダイレクトドライブ式薄型回転ステージは、薄型設計で最高レベルの精度を実現するよう設計されています。 さまざまなオプションを組み合わせることで、ポイントツーポイントインデキシングまたは定速度スキャニングに最適なソリューションを作成できます。 RLステージは、優れた移動精度、平坦度、および面ぶれ精度を提供します。

 

3相トルクモーター

  • ブラシレス
  • スロットレス
  • 低コギングトルク

 

アブソリュートエンコーダー(オプション)

アブソリュートエンコーダーは、明確な位置情報を提供することで、位置を即座に特定可能。 これにより、電源投入時にリファレンシングが不要となり、運用中の効率と安全性を向上させます。

 

アクセサリーとオプション

  • インクリメンタルエンコーダーまたはアブソリュートエンコーダー
  • 真空フィードスルー
  • 磁気プリロードによる静止時セルフロック
  • ご要望に応じてクリアアパーチャに対応
  • PIglideフィルターおよびエアー処理キット
  • 単軸または多軸モーションコントローラーとサーボドライブ
  • 多軸/カスタマイズセットアップ
  • グラナイト製のベースプレートとシステムが振動を緩和

 

応用分野

光学アライメント、ウェーハ検査、ウェーハアライメント、計測技術、検査システム、キャリブレーション、スキャニング。

摩擦レス運動により粒子が発生しないため、PIglideステージはクリーンルーム用途に最適です。

仕様

データシート

A-63x データシート

日付 / バージョン
2026-04-23
pdf - 2 MB
日付 / バージョン
2026-04-23
pdf - 2 MB
日付 / バージョン
2020-01-14
pdf - 702 KB

ダウンロード

データシート

データシート

A-63x データシート

日付 / バージョン
2026-04-23
pdf - 2 MB
日付 / バージョン
2026-04-23
pdf - 2 MB
日付 / バージョン
2020-01-14
pdf - 702 KB

ドキュメント

ドキュメント

ユーザーマニュアル A630D0001

A-63xシリーズ ロープロファイル回転エアベアリングステージ「PIglide RL」 エンコーダフィードバック搭載・ダイレクトドライブ方式トルクモーター駆動

日付 / バージョン
3.0 2021-11-29
pdf - 1 MB
英語

3D モデル

3D モデル

A-63x 3Dモデル

日付 / バージョン
2021-12-09
zip - 3 MB

見積 / 発注

必要な数量、価格、およびリードタイムに関する無料の見積を依頼するか、必要な編集について説明します。オンラインで提供されるすべての製品は直接発注できます。

A-634.A100

PIglide RL 回転ステージ:エアベアリング方式、可動テーブル径150 mmの低背型回転ステージ、sin/cos信号出力対応の角度測定システムを搭載し、スロットレス・ブラシレス三相トルクモーターで駆動。

A-634.B100

PIglide RL回転ステージ、エアーベアリング、直径150 mmの可動プラットフォーム、低背型、BiSS-C信号伝送対応アブソリュート角度計測システム、スロットレス、ブラシレスタイプの3相トルクモーター

A-635.A100

PIglide RL回転ステージ、エアーベアリング、直径200 mmの可動プラットフォーム、低背型、Sin/Cos信号伝送方式の角度計測システム、スロットレス、ブラシレス3相トルクモーター

A-635.B100

PIglide RL回転ステージ、エアーベアリング、直径200 mmのモーションプラットフォーム、低背型、BiSS-C信号伝送対応アブソリュート角度計測システム、スロットレス・ブラシレスタイプの3相トルクモーター

A-638.A100

PIglide RL 回転ステージ:エアベアリング方式、可動テーブル径350 mmの低背型回転ステージ、sin/cos信号出力対応の角度測定システムを搭載し、スロットレス・ブラシレス3相トルクモーターで駆動。

A-638.B100

PIglide RL回転ステージ、エアーベアリング、直径350 mmの可動プラットフォーム、低背型、BiSS-C信号伝送対応アブソリュート角度計測システム、スロットレス、ブラシレス3相トルクモーター

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