PIMars XYZピエゾステージは、スキャン・アライメント・計測の精度の限界を押し上げます。 サブナノメートル単位の分解能と高い剛性・動的応答性を組み合わせ、次世代の研究・製造に必要な精度と速度を実現します。
Aysenur Ünal、ピエゾシステムおよびアクチュエーター担当PIプロダクトマネージャー
高精度用途向けナノポジショニングステージの6つの主なメリット
- 高精度モーションを容易に統合： 静電容量センサーにより、サブナノメートル単位の分解能、99.97%の直線性、長期安定性を実現。 優れたスキャン平坦度（Z方向の真直度と平坦度は±30 nm）とコンパクトな設置面積により、スペースが限られたセットアップでも正確な平面移動と容易なインテグレーションを可能にします。
- 多用途の光アクセス： 開口部は透過光やビームのアライメント作業をサポートし、フォトニクス・顕微鏡用途での柔軟な活用が可能です。
- 最高レベルの安定性： ゼロプレイのフレクシャガイドは、高い剛性と摩擦や摩耗のない動作を実現し、振動・衝撃・温度変化に対する堅牢性を維持します。
- 高いダイナミクス： 平行位置測定機能を備えた圧電式ドライブにより、高速用途におけるリアルタイムのクロストーク補正とナノメートル単位の軌道追従性を実現。研究・産業全体の歩留まりの向上、品質管理の改善、コスト削減をサポートします。
- 優れた耐久性： 完全絶縁型のPICMA®ピエゾアクチュエーターは、従来のアクチュエーターに比べて最大10倍の耐久性を誇り、1,000億サイクルを超える信頼性が実証されています。
- すぐに利用可能： モデルP-561、P-562、P-563は即納可能で、短いリードタイムを担保します。
当社のXYZナノポジショニングステージは、次のような高い精度が求められる用途に最適です。
- 顕微鏡＆ライフサイエンス： 超解像顕微鏡、共焦点顕微鏡、原子間力顕微鏡（AFM）イメージング、Zスタック画像重ね合わせ、生細胞研究、バイオナノテクノロジー。 優れたスキャン平坦度により、鮮明な3D画像を実現します。
- ナノテクノロジー： 研究・産業用途向けのナノ構造の精密な操作と組立。
- フォトニクス＆光学： ファイバー・光学アライメント、干渉計、精密光学調整。 中央の開口部は、透過光やビームアライメント作業をサポートします。
- 半導体＆計測： ナノメートル単位の精度と高いダイナミクスが不可欠なウェハー検査、リソグラフィ、マスクアライメント、欠陥検出。
