E-509 シグナルコンディショナー／ピエゾサーボモジュール

ピエゾメカニクス用センサー信号処理・位置制御回路

ピエゾメカニクス用センサー信号処理・位置制御回路

1 / 2 / 3

1 / 3

P-I（アナログ）、ノッチフィルター

P-I（アナログ）、ノッチフィルター

静電容量

ひずみゲージセンサー

1 / 2 /3

1 / 3

0.3 kHz ～ 3 kHz（ジャンパーで選択可能）、要請に応じて最大10 kHz

0.3 kHz; 1 kHz; 3 kHz

0.115 ppm/√Hz

—

< 0.3 mV/°C

< 3 mV/°C

< 0.05 %

< 0.2 %

LEMO EPL.00.250.NTD

LEMO ERA.0S.304.CLL

0 V to 10 V

0 V to 10 V

LEMO 6-pole FGG.0B.306.CLAD56

BNC (1-ch.) / LEMO 3-pole (3-ch.)

ILS

ILS

Overflow LED

Overflow LED

5 °C ～ 50 °C

5 °C ～ 50 °C

7 HP / 3 U

7 HP / 3 U

350 g

350 g

E-500 system

E-500 system

4 W to 8 W

4 W to 8 W