P-840 プリロード型ピエゾアクチュエーター

Compact Actuators for High Loads and Forces

PICMAピエゾアクチュエーターによる卓越した寿命
トラベルレンジ：最大90 µm
コンパクトな筐体
圧縮力容量：最大1000 N
引張力容量：最大50 N
マイクロ秒の応答時間
サブナノメートル分解能
ボールチップバージョンを展開

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P-840 / P-841、寸法単位はmm。センサーはP-841にのみ付属。

応用分野

静的・動的な高精度位置決め
ファイバー位置決め
レーザーチューニング
ナノテクノロジー

PICMAピエゾアクチュエーターによる卓越した寿命

PICMAピエゾアクチュエーターは、オールセラミック絶縁を採用しています。これにより湿度やリーク電流の増加に起因する故障から、アクチュエーターを保護。従来のポリマー絶縁アクチュエーターに比べて、PICMAアクチュエーターは、最大10倍の寿命を実現。 1,000億回のサイクルでも故障ゼロの実績があります。

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データシート

日付 / バージョン

2026-03-17

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2026-03-17

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2026-03-17

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ダウンロード

Motion	P-840.10	P-840.1B	P-840.20	P-840.2B	P-840.30	P-840.3B	P-840.40	P-840.4B	P-840.60	P-840.6B	Tolerance
Active axes	Z	Z	Z	Z	Z	Z	Z	Z	Z	Z
Travel range in Z, open loop, at 0 to 100 V	15 µm	15 µm	30 µm	30 µm	45 µm	45 µm	60 µm	60 µm	90 µm	90 µm	±20 %
Positioning	P-840.10	P-840.1B	P-840.20	P-840.2B	P-840.30	P-840.3B	P-840.40	P-840.4B	P-840.60	P-840.6B	Tolerance
Resolution in Z, open loop	0.15 nm	0.15 nm	0.3 nm	0.3 nm	0.45 nm	0.45 nm	0.6 nm	0.6 nm	0.9 nm	0.9 nm	typ.
Drive properties	P-840.10	P-840.1B	P-840.20	P-840.2B	P-840.30	P-840.3B	P-840.40	P-840.4B	P-840.60	P-840.6B	Tolerance
Drive type	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®	PICMA®
Electrical capacitance in Z	1.5 µF	1.5 µF	3 µF	3 µF	4.5 µF	4.5 µF	6 µF	6 µF	9 µF	9 µF	±20 %
Mechanical properties	P-840.10	P-840.1B	P-840.20	P-840.2B	P-840.30	P-840.3B	P-840.40	P-840.4B	P-840.60	P-840.6B	Tolerance
Stiffness in Z	57 N/µm	57 N/µm	27 N/µm	27 N/µm	19 N/µm	19 N/µm	15 N/µm	15 N/µm	10 N/µm	10 N/µm	±20 %
Resonant frequency in Z, unloaded	18 kHz	18 kHz	14 kHz	14 kHz	10 kHz	10 kHz	8.5 kHz	8.5 kHz	6 kHz	6 kHz	±20 %
Permissible push force in Z	1000 N	1000 N	1000 N	1000 N	1000 N	1000 N	1000 N	1000 N	1000 N	1000 N	max.
Permissible pull force in Z	50 N	50 N	50 N	50 N	50 N	50 N	50 N	50 N	50 N	50 N	max.
Permissible torque in θZ	0.35 N·m	—	0.35 N·m	—	0.35 N·m	—	0.35 N·m	—	0.35 N·m	—	max.
Mass without cable	20 g	20 g	28 g	28 g	46 g	46 g	54 g	54 g	62 g	62 g	±5 %
Material	筐体/ ヘッドピース：ステンレス鋼	筐体/ ヘッドピース：ステンレス鋼	筐体/ ヘッドピース：ステンレス鋼	筐体/ ヘッドピース：ステンレス鋼	筐体/ ヘッドピース：ステンレス鋼	筐体/ ヘッドピース：ステンレス鋼	筐体/ ヘッドピース：ステンレス鋼	筐体/ ヘッドピース：ステンレス鋼	筐体/ ヘッドピース：ステンレス鋼	筐体/ ヘッドピース：ステンレス鋼
Length	32 mm	32 mm	50 mm	50 mm	68 mm	68 mm	86 mm	86 mm	122 mm	122 mm	±0,3 mm
Mechanical interface	—	ボールチップ	—	ボールチップ	—	ボールチップ	—	ボールチップ	—	ボールチップ
Miscellaneous	P-840.10	P-840.1B	P-840.20	P-840.2B	P-840.30	P-840.3B	P-840.40	P-840.4B	P-840.60	P-840.6B	Tolerance
Operating temperature range	-20～80 °C	-20～80 °C	-20～80 °C	-20～80 °C	-20～80 °C	-20～80 °C	-20～80 °C	-20～80 °C	-20～80 °C	-20～80 °C
Connector	LEMO FFA.00.250	LEMO FFA.00.250	LEMO FFA.00.250	LEMO FFA.00.250	LEMO FFA.00.250	LEMO FFA.00.250	LEMO FFA.00.250	LEMO FFA.00.250	LEMO FFA.00.250	LEMO FFA.00.250
Cable length	1 m	1 m	1 m	1 m	1 m	1 m	1 m	1 m	1 m	1 m
Recommended controllers/drivers	E-503、E-505、E-610、E-617、E-621、E-625、E-663、E-665、E-709、E-831	E-503、E-505、E-610、E-617、E-621、E-625、E-663、E-665、E-709、E-831	E-503、E-505、E-610、E-617、E-621、E-625、E-663、E-665、E-709、E-831	E-503、E-505、E-610、E-617、E-621、E-625、E-663、E-665、E-709、E-831	E-503、E-505、E-610、E-617、E-621、E-625、E-663、E-665、E-709、E-831	E-503、E-505、E-610、E-617、E-621、E-625、E-663、E-665、E-709、E-831	E-503、E-505、E-610、E-617、E-621、E-625、E-663、E-665、E-709、E-831	E-503、E-505、E-610、E-617、E-621、E-625、E-663、E-665、E-709、E-831	E-503、E-505、E-610、E-617、E-621、E-625、E-663、E-665、E-709、E-831	E-503、E-505、E-610、E-617、E-621、E-625、E-663、E-665、E-709、E-831

Z方向の剛性：静的大信号剛性（動的小信号剛性は約30％高くなります）。

PIのピエゾアクチュエーターは摩擦がないため、システムの分解能を制限する要因はアンプのノイズと測定技術のみです。

PI では、技術データは 22 ±3 ℃ において規定されています。記載がない限り、数値は負荷のない条件のもとにあります。一部の特性は相互に依存しています。「typ.」の表記は、特性の統計的な平均値を示すものであり、供給されるすべての製品に対して保証値を示すものではありません。製品の最終検査では、すべての特性ではなく、選択された特性のみが分析されます。一部の製品特性は、使用時間の増加に伴って劣化する可能性がある点にご注意ください。

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製品についての注意事項

日付 / バージョン

2023-02-22

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日付 / バージョン

2026-03-17

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2026-03-17