V-738 高精度XYステージ

リニアモーター

リニアモーターは電磁式のダイレクトドライブです。 駆動系の機械部品を必要とせず、駆動力をモーションプラットフォームに直接かつ摩擦なく伝達します。 ドライブは高速度と高加速度に達します。 コアレスモーターは、永久磁石との望ましくない相互作用がないため、精度への要求が最も厳しい位置決め作業に特に適しています。 これにより、最低速度時でもスムーズな稼働が可能になり、高速度域でも振動がありません。 制御動作時の非線形性が回避され、どの位置でも簡単にコントロールできます。 駆動力も柔軟に設定できます。

循環式ボールベアリング

適切に組み立てられた循環式ボールベアリングは、高い荷重容量、長寿命、メンテナンスフリーでの動作、高いガイド精度を兼ね備えていることが特長です。 ステージの可動部は、2本のガイドレール上を走行する4つの予圧式循環ボールベアリングユニットによって支持されています。 各ベアリングユニットは、独立した2列の循環ボールベアリングで構成されています。

インクリメンタルリニアエンコーダーによる高精度位置測定

非接触式光学リニアエンコーダーにより、ステージのプラットフォーム上で位置を直接測定し、高精度な位置検出を実現します。 非線形性、機械的遊び、弾性変形は測定に一切影響しません。

その他の移動量については、ご要望に応じて対応可能です。

応用分野

医療産業。 レーザーカッティング。 スキャニング。 バイオテクノロジー。 計測技術。 AOI（自動光学検査）。 顕微鏡。