小型ヘキサポッド、ブラシレスDCモーター、耐荷重:5 kg、最大速度:20 mm/s、ケーブル長:0.5 m。 接続ケーブルは同梱されていませんので、別途ご注文ください。
H-811.I2 小型ヘキサポッド
Fast, Compact, and Highly Precise
- トラベルレンジ:最大±17 mm / ±21°
- 最大耐荷重:5 kg
- 再現性:最大±0.06 µm
- 最大速度:20 mm/s
- 真空対応モデルもご用意しています
応用分野
H-811は、設置面積が小さく、サイクル数の多い用途で実績のある信頼性により、主にフォトニクスや精密組立の分野で採用されています。 この分野では、H-811は複雑な製造プロセスや測定手順の生産性向上に貢献します。
高いダイナミクスと信頼性の融合
パラレルキネマティック配置により、本ヘキサポッドはコンパクトな設計ながらも6軸の動作を実行できます。 H-811は、ブラシレスDCモーターの採用と剛性の高い機械設計により、外部干渉が生じる状況(例えば接着工程など)においても、アクティブアライメント用途に必要なダイナミクスを提供します。 幅広いソフトウェアツールは、システムチューニングを簡素化し、外部アナログ制御信号へのアライメントのための自動ルーチンも利用可能です。
システム全体を保護するための動作シミュレーション
無償でダウンロード可能なPIVirtualMoveソフトウェアは、H-811のトラベルレンジ、アライメント、許容力、トルクをシミュレーションし、最適なシステム構成の実現に役立ちます。 このシミュレーションでは、選択した回転中心と荷重重心の両方が考慮されます。
ワーク・ツール座標系や、エミュレーションツールは、ヘキサポッドコントローラーに同梱されている無償ソフトウェアパッケージに含まれています。 これらのツールは、光学部品やフォトニック部品などの重要な部品の保護に役立ちます。
仕様
Motion | H-811.I2 | Tolerance |
---|---|---|
Active axes | X ǀ Y ǀ Z ǀ θX ǀ θY ǀ θZ | |
Travel range in X | ± 17 mm | |
Travel range in Y | ± 16 mm | |
Travel range in Z | ± 6.5 mm | |
Rotation range in θX | ± 10 ° | |
Rotation range in θY | ± 10 ° | |
Rotation range in θZ | ± 21 ° | |
Maximum velocity in X | 20 mm/s | |
Recommended velocity in X | 10 mm/s | |
Maximum velocity in Y | 20 mm/s | |
Recommended velocity in Y | 10 mm/s | |
Maximum velocity in Z | 20 mm/s | |
Recommended velocity in Z | 10 mm/s | |
Maximum angular velocity in θX | 500 mrad/s | |
Recommended angular velocity in θX | 250 mrad/s | |
Maximum angular velocity in θY | 500 mrad/s | |
Recommended angular velocity in θY | 250 mrad/s | |
Maximum angular velocity in θZ | 500 mrad/s | |
Recommended angular velocity in θZ | 250 mrad/s | |
Positioning | H-811.I2 | Tolerance |
Minimum incremental motion in X | 0.2 µm | typ. |
Minimum incremental motion in Y | 0.2 µm | typ. |
Minimum incremental motion in Z | 0.08 µm | typ. |
Minimum incremental motion in θX | 2.5 µrad | typ. |
Minimum incremental motion in θY | 2.5 µrad | typ. |
Minimum incremental motion in θZ | 5 µrad | typ. |
Unidirectional repeatability in X | ± 0.15 µm | typ. |
Unidirectional repeatability in Y | ± 0.15 µm | typ. |
Unidirectional repeatability in Z | ± 0.06 µm | typ. |
Unidirectional repeatability in θX | ± 2 µrad | typ. |
Unidirectional repeatability in θY | ± 2 µrad | typ. |
Unidirectional repeatability in θZ | ± 3 µrad | typ. |
Backlash in X | 0.2 µm | typ. |
Backlash in Y | 0.2 µm | typ. |
Backlash in Z | 0.06 µm | typ. |
Backlash in θX | 2 µrad | typ. |
Backlash in θY | 2 µrad | typ. |
Backlash in θZ | 4 µrad | typ. |
Drive properties | H-811.I2 | Tolerance |
Drive type | Brushless DC motor | |
Mechanical properties | H-811.I2 | Tolerance |
Stiffness in X | 0.7 N/µm | |
Stiffness in Y | 0.7 N/µm | |
Stiffness in Z | 8 N/µm | |
Maximum load capacity, base plate horizontal | 5 kg | |
Maximum load capacity, base plate in any orientation | 2.5 kg | |
Maximum holding force, base plate horizontal | 15 N | |
Maximum holding force, base plate in any orientation | 2.5 N | |
Overall mass | 2.2 kg | |
Material | ステンレススチール、アルミニウム | |
Miscellaneous | H-811.I2 | Tolerance |
Operating temperature range | 0 to 50 °C | |
Connector for data transmission | HD D-sub 78 (m) | |
Connector for supply voltage | M12 4-pole (m) | |
Cable length | 0.5 m | |
Outer diameter power supply cable | 4.95 mm | |
Minimum bending radius for fixed installation, power supply | 25 mm | |
Outer diameter data transmission cable | 9.5 mm | |
Minimum bending radius for fixed installation, data transmission | 95 mm | |
Recommended controllers/drivers | C-887.5x |
H-811.I2に固定されているケーブルの長さは、それぞれ0.5 mです。
H-811.I2に固定されているケーブルは、ドラッグチェーン非対応です。
接続ケーブルは同梱されていませんので、別途ご注文ください。
カスタマイズについてはお問い合わせください。
When measuring position specifications, typical velocity is used. The data is included in the delivery of the product in the form of a measurement report and is stored at PI.
The maximum travel ranges of the individual coordinates (X, Y, Z, θX, θY, θZ) are interdependent. The data for each axis shows its maximum travel range when all other axes are in the zero position of the nominal travel range and the default coordinate system is in use, or rather when the pivot point is set to 0,0,0.
PI では、技術データは 22 ±3 ℃ において規定されています。 記載がない限り、数値は負荷のない条件のもとにあります。 一部の特性は相互に依存しています。 「typ.」の表記は、特性の統計的な平均値を示すものであり、供給されるすべての製品に対して保証値を示すものではありません。 製品の最終検査では、すべての特性ではなく、選択された特性のみが分析されます。 一部の製品特性は、使用時間の増加に伴って劣化する可能性がある点にご注意ください。
ダウンロード
製品についての注意事項
Product Change Notification Hexapod Cables
Product Change Notification Motor Driven Products
Product Change Notification H-811 Series
Product Change Notification H-811 Vent Holes
Product Change Notification H-811.D2, H-811.D11, H-811.D12
データシート
ドキュメント
3D モデル
H-811.I2 3D Model
ソフトウェア ファイル
PIVirtualMove
見積取得方法
お問い合わせ
担当者よりお問合せにつきまして、すぐにご連絡をさせて頂きます。
テクノロジー

アクティブアライメント
幅広い分野で、さまざまな装置をナノメートルの精度で1列に揃える必要性が増しています。小型カメラのレンズやレンズアセンブリといった光学部品や、さらにはCCDチップ自体などを、これまで以上の精度で配置しなければなりません。

PI社製品とEtherCATとの接続性
PIでは、EtherCATスレーブとして使用できる高精度のドライブを提供するほか、マスターや既存のアーキテクチャの第2マスターとして、ACSモーションコントローラーをそのドライブと一体化させることもできます。

多軸位置決めシステム
ヘキサポッドプラットフォームは、搭載物の6軸方向、つまり3つの直動軸と3つの回転軸に沿った高精度位置決め、および搭載物の位置調整のために使用されます。
応用事例

Sample Adjustment
At Diamond Light Source, UK, beamline I07 is a high-resolution X-ray diffraction beamline dedicated to investigate the structure of surfaces and interfaces.

フォトニクスパッケージング
TEGEMAのフォトニック回路の組み立てとパッケージングのためのモジュラプラットフォームは、PIのナノポジショニングの専門知識に基づいています。

High Vacuum Positioning
Investigation of the structural properties of thin films under high-vacuum conditions.

ナノトモグラフィー
ハンブルクにあるDESY研究センターのX線源PETRA IIIに、イメージングビームラインP05があります。

寸法測定における柔軟性
モーションロボティクスに必要な空間を最小化することにより、ヘキサポッドはインラインオートメーションシステムの様々な例において優れた柔軟性をもたらします。

マイクロプロダクション用ヘキサポッド
フォトニクス、モバイルデバイス、高級腕時計で使用されている光学部品、ガラスファイバーに共通する項目は何でしょうか?