E-610 ピエゾアンプ ／サーボコントローラー

低電圧ピエゾアクチュエーター用OEMモジュール

E-610 アンプ／サーボコントローラーモジュールは、PICMA® ピエゾアクチュエーターおよびピエゾ位置決めシステムの駆動用に設計されています。 低電圧範囲でピーク電流140 mAの入出力が可能な、低ノイズ・ピエゾアンプを内蔵しています。 純粋なアンプモジュールに加え、SGSセンサー、LVDTセンサー、静電容量式センサーを備えたピエゾポジショナー用コントローラーモジュールも用意されています。

クローズドループ／オープンループのピエゾ位置決め

E-610モジュールは、クローズドループおよび電圧制御動作の両方で、ピエゾアクチュエーターおよびピエゾ位置決めシステムの精密制御を提供します。 位置制御動作ではアナログのP-I（比例–積分）コントローラーを使用します。一方、電圧制御動作ではピエゾの位置が制御信号に直接追従します。 したがって、ピエゾポジショナーおよび接続するセンサーの種類に応じて、位置決め精度および再現性はナノメートル領域で可能です。

PCによる制御

E-621およびE-625モデルは、デジタルPCインターフェースによる制御に対応しています。 または、PCからD/Aコンバーター経由でアナログ制御も可能です。