デジタルピエゾコントローラー、1軸、-30 V~130 V、静電容量センサー、モニタリング機能、ベンチトップデバイス
E-709.1C1L コンパクトでコストパフォーマンスに優れたデジタルピエゾコントローラー
静電容量センサー用、1軸、モニタリング機能付き
- 用途に合わせてダイナミクスを最適化する豊富な構成オプション
- デバイス温度のアクティブ制御
- 充実したセーフティ・モニタリング機能
- 直線性誤差:0.01%(最大)
コストパフォーマンスに優れた高性能コントローラー
静電容量センサーを搭載したピエゾベースの単軸ナノポジショニングシステム用です。 出力電圧は-30 V~130 Vに対応しており、 アンプおよびセンサーは動的用途向けに最適化されています。 デジタル線形化機能を搭載しています。 デジタルサーボコントローラーは、オプションでプロファイルジェネレーターや位置フィードフォワード制御と組み合わせることも可能です。 さらに、ウェーブジェネレーター、 データレコーダー、 オートゼロ、 トリガーI/Oを装備しています。 PIの現行のIDチップすべてに対応するほか、 機能ブロックで構成されたコンパクトな設計により、OEMバージョンへの派生展開が容易になっています。
温度管理
アクティブな温度制御により、センサーエレクトロニクスの高い位置安定性を実現。 さまざまな動作条件に適応できます。 電源投入後10分未満で温度が安定するため、 短いウォームアップフェーズによって連続動作の必要がなくなり、エネルギー要件の削減とナノポジショニングシステムの長寿命化を実現しました。
セーフティ・モニタリング機能
アンプおよびセンサーエレクトロニクスの過熱防止機能を備え、 短絡保護にも対応しています。 電圧や電流などの入出力値および内部温度は、ハードウェアベースで常時測定されます。 また、静的および動的評価に向けた高周波測定が可能です。 特定の値の照会や記録により、リモート診断にも対応します。
インターフェース
PI汎用コマンドセット(GCS)を介して、USBおよびRS-232(オプション:RS-485)でコマンドを送信します。 位置指定および照会向けにはリアルタイムSPIインターフェースを搭載しました。 高帯域幅のアナログ制御入力やセンサー入力に対応するほか、 センサーモニターや外部アンプ制御用のアナログ出力を備えています。 差動入出力およびSPIインターフェースを介して、サーボサイクルの同期も可能です。
ソフトウェアインターフェース
NI LabVIEW、C、C++、MATLAB、Pythonなど、充実したソフトウェアサポートを提供します。 また、µManagerとの互換性を備えるほか、 PIMikroMoveユーザーソフトウェアに対応しています。
応用分野
- 多光子顕微鏡、共焦点顕微鏡
- 3Dイメージング
- スクリーニング
- オートフォーカスシステム
- 表面分析
- ウエハー検査
仕様
仕様
| Basics | E-709.1C1L | Tolerance |
|---|---|---|
| Housing type | Benchtop device | |
| Drive type | PICMA® | |
| Axes | 1 | |
| Processor | DSP 32ビット浮動小数点、200 MHz | |
| Application-related functions | Data recorder | |
| Drive functions | AutoZero | |
| Protective functions | Deactivation of the voltage output in case of internal overheating | |
| Configuration management | Import of parameter files ǀ Reading the ID chip ǀ Manual parameter input | |
| Supported ID chip | ID chip 2.0 | |
| Motion and control | E-709.1C1L | Tolerance |
| Supported sensor signal | analog (cap.) | |
| Control variables | Position | |
| Maximum control frequency (servo cycle) | 20000 Hz | |
| Motion types | Point-to-point motion ǀ Point-to-point motion with profile generator ǀ Wave generator | |
| Interfaces and operation | E-709.1C1L | Tolerance |
| Communication interfaces | RS-232 ǀ SPI ǀ USB 2.0 | |
| Motion-dependent inputs and outputs | Digital trigger input ǀ Digital trigger output ǀ Digital output servo cycle ǀ Analog control input ǀ Analog sensor input ǀ Analog control output ǀ Analog output for monitor of axis position | |
| On/off switch | Hardware switch on/off | |
| Display and indicators | Error LED ǀ Power LED ǀ On Target LED ǀ Overflow LED | |
| Command set | GCS 2.0 | |
| User software | PIMikroMove | |
| Application programming interfaces | C, C++, C# ǀ MATLAB ǀ NI LabView ǀ Python | |
| Integration with third-party solutions | µManager ǀ Andor iQ | |
| Linearization | 4th order polynomials | |
| Analog inputs | 1 | |
| Analog input signal | -10~10 V | |
| Digital resolution of the analog input | 19 bit | |
| Analog outputs | 1 | |
| Analog output signal | -10~10 V | |
| Digital resolution of the analog output | 24 bit | |
| Digital inputs | 4 | |
| Digital input signal | TTL | |
| Digital outputs | 4 | |
| Digital output signal | TTL | |
| Monitoring, recorded parameters | Temperature ǀ Input and output voltages ǀ Current consumption | |
| Monitoring, sample rate | 20 kHz | |
| Monitoring, resolution | 15 bit | |
| Monitoring, data provision | Query by GCS command ǀ Recording by data recorder | |
| Amplifier | E-709.1C1L | Tolerance |
| Resolution DAC/voltage resolution | 24 bit | |
| Sensor | E-709.1C1L | Tolerance |
| Digital resolution for the sensor input | 19 bit | |
| Sensor bandwidth | 6.7 kHz | |
| Sensor scanning frequency | 20000 Hz | |
| Electrical properties | E-709.1C1L | Tolerance |
| Output voltage | -30~130 V | |
| Average output power | 14 W | min. |
| Peak output power | 28 W | |
| Average output current | 100 mA | |
| Peak output current | 200 mA | |
| Peak output current, time limit | 40 ms | |
| Short-circuit proof | Yes | |
| Miscellaneous | E-709.1C1L | Tolerance |
| Motor/actuator connector | D-sub 7W2 (f) | |
| Connector analog input | SMB | |
| Connector analog output | SMB | |
| Connector digital input | HD D-sub 26 (f) | |
| Connector digital output | HD D-sub 26 (f) | |
| Connector USB | USB socket Mini-B | |
| Connector RS-232 | D-sub 9 (m) | |
| Connector SPI | DisplayPort | |
| Connector for supply voltage | M8 4-pole (m) | |
| Operating voltage | 24 V | |
| Power adapter | Included in the scope of delivery ǀ Power adapter 24 V DC | |
| Maximum power consumption | 40 W | |
| Operating temperature range | 5~40 °C | |
| Overall mass | 415 g | |
| Maximum warm-up time to 55 °C, at 20 °C ambient temperature | 10 min |
ピーク出力および平均出力:公称ピークツーピーク電圧140 V時。
通信インターフェース:パラメーター設定により、RS-232からRS-485への切り替えが可能。
コネクター RS-485:HD D-sub 26(メス)
ダウンロード
データシート
ドキュメント
User Manual E709T0002 (英語)
SPI Interface Description
User Manual PZ305
E-709.1C1L Digital piezo controller, 1 axis, -30 to 130 V, capacitive sensor, monitoring functionality, benchtop device
3D モデル
3D model E-709.1C1L
一般的なソフトウェアのドキュメント
Technical Note A000T0089
PI Software on ARM-Based Platforms


















