E-709.1C1L コンパクトでコストパフォーマンスに優れたデジタルピエゾコントローラー

静電容量センサー用、1軸、モニタリング機能付き

  • 用途に合わせてダイナミクスを最適化する豊富な構成オプション
  • デバイス温度のアクティブ制御
  • 充実したセーフティ・モニタリング機能
  • 直線性誤差:0.01%(最大)
E-709.1C1L コンパクトでコストパフォーマンスに優れたデジタルピエゾコントローラー
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コストパフォーマンスに優れた高性能コントローラー

静電容量センサーを搭載したピエゾベースの単軸ナノポジショニングシステム用です。 出力電圧は-30 V~130 Vに対応しており、 アンプおよびセンサーは動的用途向けに最適化されています。 デジタル線形化機能を搭載しています。 デジタルサーボコントローラーは、オプションでプロファイルジェネレーターや位置フィードフォワード制御と組み合わせることも可能です。 さらに、ウェーブジェネレーター、 データレコーダー、 オートゼロ、 トリガーI/Oを装備しています。 PIの現行のIDチップすべてに対応するほか、 機能ブロックで構成されたコンパクトな設計により、OEMバージョンへの派生展開が容易になっています。

温度管理

アクティブな温度制御により、センサーエレクトロニクスの高い位置安定性を実現。 さまざまな動作条件に適応できます。 電源投入後10分未満で温度が安定するため、 短いウォームアップフェーズによって連続動作の必要がなくなり、エネルギー要件の削減とナノポジショニングシステムの長寿命化を実現しました。

セーフティ・モニタリング機能

アンプおよびセンサーエレクトロニクスの過熱防止機能を備え、 短絡保護にも対応しています。 電圧や電流などの入出力値および内部温度は、ハードウェアベースで常時測定されます。 また、静的および動的評価に向けた高周波測定が可能です。 特定の値の照会や記録により、リモート診断にも対応します。

インターフェース

PI汎用コマンドセット(GCS)を介して、USBおよびRS-232(オプション:RS-485)でコマンドを送信します。 位置指定および照会向けにはリアルタイムSPIインターフェースを搭載しました。 高帯域幅のアナログ制御入力やセンサー入力に対応するほか、 センサーモニターや外部アンプ制御用のアナログ出力を備えています。 差動入出力およびSPIインターフェースを介して、サーボサイクルの同期も可能です。

ソフトウェアインターフェース

NI LabVIEW、C、C++、MATLAB、Pythonなど、充実したソフトウェアサポートを提供します。 また、µManagerとの互換性を備えるほか、 PIMikroMoveユーザーソフトウェアに対応しています。

応用分野

  • 多光子顕微鏡、共焦点顕微鏡
  • 3Dイメージング
  • スクリーニング
  • オートフォーカスシステム
  • 表面分析
  • ウエハー検査

仕様

データシート

Datasheet E-709.1C1L

日付 / バージョン
2026-07-03
pdf - 673 KB
日付 / バージョン
2026-07-03
pdf - 678 KB
日付 / バージョン
2026-07-03
pdf - 1 MB

ダウンロード

データシート

データシート

Datasheet E-709.1C1L

日付 / バージョン
2026-07-03
pdf - 673 KB
日付 / バージョン
2026-07-03
pdf - 678 KB
日付 / バージョン
2026-07-03
pdf - 1 MB

ドキュメント

ドキュメント

User Manual E709T0002 (英語)

SPI Interface Description

日付 / バージョン
2020-09-02
pdf - 707 KB
英語
ドキュメント

User Manual PZ305

E-709.1C1L Digital piezo controller, 1 axis, -30 to 130 V, capacitive sensor, monitoring functionality, benchtop device

日付 / バージョン
1.1.0 2024-01-24
pdf - 9 MB
英語

3D モデル

3D モデル

3D model E-709.1C1L

step - 18 MB

一般的なソフトウェアのドキュメント

一般的なソフトウェアのドキュメント

Technical Note A000T0089

PI Software on ARM-Based Platforms

日付 / バージョン
2023-05-08
pdf - 276 KB
英語

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