H-811.I2V
小型ヘキサポッド、ブラシレスDCモーター、10-6hPaまでの真空対応、耐荷重：5 kg、速度：10 mm/s、ケーブル長：2 m（真空側）、フィードスルー。 大気側接続ケーブルは同梱されていませんので、別途ご注文ください。
H-811.I2V 真空対応小型ヘキサポッド
Compact and Highly Precise
- 真空度：最大10-6 hPa
- トラベルレンジ：±17 mm / ±16 mm / ±6.5 mm
- 回転レンジ：±10° / ±10° / ±21°
- 最小インクリメンタルモーション：0.2 µm / 0.2 µm / 0.08 µm
- 再現性：最大±0.06 µm
- 耐荷重：5 kg
H-811.I2Vを水平に取り付けた場合の最大荷重
H-811.I2Vを垂直に取り付けた場合の最大荷重
H-811.I2Vを最も不利な角度で取り付けた場合の最大荷重
H-811.I2Vを水平に取り付けた場合の最大許容力
H-811.I2V、寸法（単位：mm）。公称トラベルレンジが0の場合の寸法です。 図面では小数点の代わりにコンマが使用されていることに注意してください。
ケーブル導出部及びH-811.I2Vの外観
H-811.I2V 真空対応小型ヘキサポッド
製品の解説
仕様
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応用分野
H-811シリーズの真空対応タイプである「H-811.I2V」は、設置面積が小さいため、真空チャンバーへの設置に最適です。 高精度かつ効率的にアライメントプロセスを実行できます。 この分野では、H-811は複雑な製造プロセスや測定手順の生産性向上に大きく貢献します。
高いダイナミクスと信頼性の融合
パラレルキネマティック配置により、本ヘキサポッドはコンパクトな設計ながらも6軸の動作を実行できます。 H-811は、ブラシレスDCモーターの採用と剛性の高い機械設計により、外部干渉が生じる状況（例えば接着工程など）においても、アクティブアライメント用途に必要なダイナミクスを提供します。 幅広いソフトウェアツールは、システムチューニングを簡素化し、外部アナログ制御信号へのアライメントのための自動ルーチンも利用可能です。
システム全体を保護するための動作シミュレーション
無償でダウンロード可能なPIVirtualMoveソフトウェアは、H-811のトラベルレンジ、アライメント、許容力、トルクをシミュレーションし、最適なシステム構成の実現に役立ちます。 このシミュレーションでは、選択した回転中心と荷重重心の両方が考慮されます。
ワーク・ツール座標系や、エミュレーションツールは、ヘキサポッドコントローラーに同梱されている無償ソフトウェアパッケージに含まれています。 これらのツールは、光学部品やフォトニック部品などの重要な部品の保護に役立ちます。
仕様
仕様
Select a travel range:
| Motion | H-811.I2V | Tolerance |
|---|---|---|
| Active axes | X ǀ Y ǀ Z ǀ θX ǀ θY ǀ θZ | |
| Travel range in X | ± 17 mm | |
| Travel range in Y | ± 16 mm | |
| Travel range in Z | ± 6.5 mm | |
| Rotation range in θX | ± 10 ° | |
| Rotation range in θY | ± 10 ° | |
| Rotation range in θZ | ± 21 ° | |
| Maximum velocity in X | 10 mm/s | |
| Recommended velocity in X | 5 mm/s | |
| Maximum velocity in Y | 10 mm/s | |
| Recommended velocity in Y | 5 mm/s | |
| Maximum velocity in Z | 10 mm/s | |
| Recommended velocity in Z | 5 mm/s | |
| Maximum angular velocity in θX | 250 mrad/s | |
| Recommended angular velocity in θX | 120 mrad/s | |
| Maximum angular velocity in θY | 250 mrad/s | |
| Recommended angular velocity in θY | 120 mrad/s | |
| Maximum angular velocity in θZ | 250 mrad/s | |
| Recommended angular velocity in θZ | 120 mrad/s | |
| Positioning | H-811.I2V | Tolerance |
| Minimum incremental motion in X | 0.2 µm | typ. |
| Minimum incremental motion in Y | 0.2 µm | typ. |
| Minimum incremental motion in Z | 0.08 µm | typ. |
| Minimum incremental motion in θX | 2.5 µrad | typ. |
| Minimum incremental motion in θY | 2.5 µrad | typ. |
| Minimum incremental motion in θZ | 5 µrad | typ. |
| Unidirectional repeatability in X | ± 0.15 µm | typ. |
| Unidirectional repeatability in Y | ± 0.15 µm | typ. |
| Unidirectional repeatability in Z | ± 0.06 µm | typ. |
| Unidirectional repeatability in θX | ± 2 µrad | typ. |
| Unidirectional repeatability in θY | ± 2 µrad | typ. |
| Unidirectional repeatability in θZ | ± 3 µrad | typ. |
| Backlash in X | 0.2 µm | typ. |
| Backlash in Y | 0.2 µm | typ. |
| Backlash in Z | 0.06 µm | typ. |
| Backlash in θX | 2 µrad | typ. |
| Backlash in θY | 2 µrad | typ. |
| Backlash in θZ | 4 µrad | typ. |
| Drive properties | H-811.I2V | Tolerance |
| Drive type | Brushless DC motor | |
| Mechanical properties | H-811.I2V | Tolerance |
| Stiffness in X | 0.7 N/µm | |
| Stiffness in Y | 0.7 N/µm | |
| Stiffness in Z | 8 N/µm | |
| Maximum load capacity, base plate horizontal | 5 kg | |
| Maximum load capacity, base plate in any orientation | 2.5 kg | |
| Maximum holding force, base plate horizontal | 15 N | |
| Maximum holding force, base plate in any orientation | 2.5 N | |
| Overall mass | 2.2 kg | |
| Material | ステンレススチール、アルミニウム | |
| Miscellaneous | H-811.I2V | Tolerance |
| Operating temperature range | 0 to 50 °C | |
| Vacuum class | 10⁻⁶ ǀ hPa | |
| Maximum bakeout temperature | 80 °C | |
| Connector for data transmission | HD D-sub 78 (m) | |
| Connector for supply voltage | LEMO | |
| Cable length | 2 m | |
| Outer diameter power supply cable | 4.7 mm | |
| Minimum bending radius for fixed installation, power supply | 50 mm | |
| Outer diameter data transmission cable | 6.6 mm | |
| Minimum bending radius for fixed installation, data transmission | 70 mm | |
| Recommended controllers/drivers | C-887.5x |
H-811.I2Vに固定されているケーブルは、ドラッグチェーン非対応です。
データ伝送ケーブルの外径に関する注意：データ伝送接続は、1つのコネクタで終端する2本のケーブルで構成されています。 規定された外径は、各ケーブルに適用されます。
大気側接続ケーブルは同梱されていませんので、別途ご注文ください。
真空中での連続動作では、発熱により動作パラメータを制限する必要が生じる場合があります。
When measuring position specifications, typical velocity is used. The data is included in the delivery of the product in the form of a measurement report and is stored at PI.
The maximum travel ranges of the individual coordinates (X, Y, Z, θX, θY, θZ) are interdependent. The data for each axis shows its maximum travel range when all other axes are in the zero position of the nominal travel range and the default coordinate system is in use, or rather when the pivot point is set to 0,0,0.
PI では、技術データは 22 ±3 ℃ において規定されています。 記載がない限り、数値は負荷のない条件のもとにあります。 一部の特性は相互に依存しています。 「typ.」の表記は、特性の統計的な平均値を示すものであり、供給されるすべての製品に対して保証値を示すものではありません。 製品の最終検査では、すべての特性ではなく、選択された特性のみが分析されます。 一部の製品特性は、使用時間の増加に伴って劣化する可能性がある点にご注意ください。
ダウンロード
製品についての注意事項
製品についての注意事項
Product Change Notification H-811.I2V
日付 / バージョン
2020-06-08
pdf - 64 KB
英語
データシート
ドキュメント
３D モデル
３D モデル
H-811.I2V 3D Model
日付 / バージョン
2024-05-22
zip - 9 MB
ソフトウェア ファイル
ソフトウェア ファイル
PIVirtualMove
日付 / バージョン
1.7.0.0, 2025-08
zip - 150 MB
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互換性のある機器
互換性のあるアクセサリー
関連製品
互換性のあるソフトウェア
テクノロジー
PI社製品とEtherCATとの接続性
PIでは、EtherCATスレーブとして使用できる高精度のドライブを提供するほか、マスターや既存のアーキテクチャの第2マスターとして、ACSモーションコントローラーをそのドライブと一体化させることもできます。
真空
慎重な取り扱いと確かな根拠: PIは、原材料やコンポーネント、最終製品の品質保証に必要な設備だけでなく、長年にわたる高真空および超高真空ポジショニングシステムに関する経験を有しています。
ヘキサポッドによるモーションシュミレーション
モーションシミュレータ（加振器）には高いモーションダイナミクス仕様が求められます。
多軸位置決めシステム
ヘキサポッドプラットフォームは、搭載物の６軸方向、つまり3つの直動軸と3つの回転軸に沿った高精度位置決め、および搭載物の位置調整のために使用されます。
パラレルキネマティックピエゾ位置決めシステム
パラレルキネマティック多軸システムでは、すべてのアクチュエータは、ただ一つの可動プラットフォームに対して、ダイレクトに動作します。
パラレルキネマティック
パラレルキネマティック多軸システムでは、すべてのアクチュエータは単一の可動プラットフォームに作用します。 これは、すべての軸を全く同じ動的特性であるとして設計できることを意味します。結果として、運動する質量を大きく減らせることが出来ます。ヘキサポッドは、6軸方向（3つの直進軸と3つの回転軸）に移動および高精度の位置決めに使用されます。
応用事例
Sample Adjustment
At Diamond Light Source, UK, beamline I07 is a high-resolution X-ray diffraction beamline dedicated to investigate the structure of surfaces and interfaces.
光学ハッチ
ハンブルクにあるDESYのP05イメージングビームラインは、HZGによって運用されています。
High Vacuum Positioning
Investigation of the structural properties of thin films under high-vacuum conditions.
Sample Positioning in High-Vacuum
Sample Manipulators in High-Vacuum