H-850.V 真空対応ヘキサポッド

最大耐荷重80 kg

真空度：最大10^-6 hPa
再現性：最大±0.2 µm
トラベルレンジ：±50 mm / ±50 mm / ±25 mm
回転レンジ：±15° / ±15° / ±30°

見積 / 発注

H-850.H2Vを水平に取り付けた場合の最大荷重

H-850.H2Vを垂直に取り付けた場合の最大荷重

H-850.H2Vを最も不利な角度で取り付けた場合の最大荷重

H-850.V、寸法（単位：mm）。公称トラベルレンジが0の場合の寸法です

H-850シリーズの真空対応ヘキサポッドは、最大80 kgの荷重に対応し、高精度かつ信頼性の高い位置決めを実現します。耐久性の高い高精度ベアリングにより、長いデューティサイクルを伴う用途に対応可能です。 H-850.Vは、10^-6 hPaまでの真空環境に適しています。

6自由度のパラレルキネマティック設計により、同等のシリアルキネマティックシステムに比べてはるかにコンパクトで、高い剛性を実現します。シリアル（積層型）システムと比較した場合の主な利点は、移動精度と再現性が大幅に向上することです。さらに、移動質量が小さいため、ダイナミクスが向上し、すべての動作軸で同じ性能を実現できます。ケーブルが移動しないため、ケーブル管理が容易になります。

PIVirtualMove

このシミュレーションソフトウェアは、ヘキサポッドの作業スペースと耐荷重の限界値をシミュレートします。これにより、購入前であっても、特定のヘキサポッドモデルが、用途で発生する荷重、力、トルクに耐えられるかどうかを確認できます。この目的のために、シミュレーションツールは、ヘキサポッドの位置と動作、回転中心、複数の参照座標系を考慮します。

応用分野

産業および研究：天文学、光学位置決め、航空宇宙。

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データシート

日付 / バージョン

2025-05-08

pdf - 3 MB

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2025-05-08

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Select a travel range:

Motion	H-850.G2V	H-850.H2V	Tolerance
Active axes	X ǀ Y ǀ Z ǀ θX ǀ θY ǀ θZ	X ǀ Y ǀ Z ǀ θX ǀ θY ǀ θZ
Travel range in X	± 50 mm	± 50 mm
Travel range in Y	± 50 mm	± 50 mm
Travel range in Z	± 25 mm	± 25 mm
Rotation range in θX	± 15 °	± 15 °
Rotation range in θY	± 15 °	± 15 °
Rotation range in θZ	± 30 °	± 30 °
Maximum velocity in X	2.5 mm/s	0.15 mm/s
Recommended velocity in X	2 mm/s	0.1 mm/s
Maximum velocity in Y	2.5 mm/s	0.15 mm/s
Recommended velocity in Y	2 mm/s	0.1 mm/s
Maximum velocity in Z	2.5 mm/s	0.15 mm/s
Recommended velocity in Z	2 mm/s	0.1 mm/s
Maximum angular velocity in θX	30 mrad/s	1.8 mrad/s
Recommended angular velocity in θX	25 mrad/s	1.2 mrad/s
Maximum angular velocity in θY	30 mrad/s	1.8 mrad/s
Recommended angular velocity in θY	25 mrad/s	1.2 mrad/s
Maximum angular velocity in θZ	30 mrad/s	1.8 mrad/s
Recommended angular velocity in θZ	25 mrad/s	1.2 mrad/s
Positioning	H-850.G2V	H-850.H2V	Tolerance
Minimum incremental motion in X	1 µm	0.3 µm	typ.
Minimum incremental motion in Y	1 µm	0.3 µm	typ.
Minimum incremental motion in Z	0.5 µm	0.2 µm	typ.
Minimum incremental motion in θX	7.5 µrad	3 µrad	typ.
Minimum incremental motion in θY	7.5 µrad	3 µrad	typ.
Minimum incremental motion in θZ	15 µrad	5 µrad	typ.
Unidirectional repeatability in X	± 0.5 µm	± 0.5 µm	typ.
Unidirectional repeatability in Y	± 0.5 µm	± 0.5 µm	typ.
Unidirectional repeatability in Z	± 0.2 µm	± 0.2 µm	typ.
Unidirectional repeatability in θX	± 3 µrad	± 3 µrad	typ.
Unidirectional repeatability in θY	± 3 µrad	± 3 µrad	typ.
Unidirectional repeatability in θZ	± 7.5 µrad	± 9 µrad	typ.
Backlash in X	8 µm	8 µm	typ.
Backlash in Y	8 µm	8 µm	typ.
Backlash in Z	1.5 µm	1 µm	typ.
Backlash in θX	25 µrad	7.5 µrad	typ.
Backlash in θY	25 µrad	7.5 µrad	typ.
Backlash in θZ	90 µrad	60 µrad	typ.
Integrated sensor	Incremental rotary encoder	Incremental rotary encoder
Drive properties	H-850.G2V	H-850.H2V	Tolerance
Drive type	DC gear motor with ActiveDrive	DC gear motor with ActiveDrive
Nominal voltage	24 V	24 V
Mechanical properties	H-850.G2V	H-850.H2V	Tolerance
Stiffness in X	7 N/µm	7 N/µm
Stiffness in Y	7 N/µm	7 N/µm
Stiffness in Z	100 N/µm	100 N/µm
Maximum load capacity, base plate horizontal	25 kg	80 kg
Maximum load capacity, base plate in any orientation	10 kg	40 kg
Maximum holding force, base plate horizontal	250 N	2000 N
Maximum holding force, base plate in any orientation	85 N	500 N
Drive screw type	Ball screw	Ball screw
Overall mass	17 kg	17 kg
Material	アルミニウム	アルミニウム
Miscellaneous	H-850.G2V	H-850.H2V	Tolerance
Operating temperature range	-10 to 50 °C	-10 to 50 °C
Vacuum class	10⁻⁶ ǀ hPa	10⁻⁶ ǀ hPa
Maximum bakeout temperature	80 °C	80 °C
Connector for data transmission	HD D-sub 78 (m)	HD D-sub 78 (m)
Connector for supply voltage	M12 4-pole (m)	M12 4-pole (m)
Cable length	2 m	2 m
Recommended controllers/drivers	C-887.5xx	C-887.5xx

大気側接続ケーブルは同梱されていませんので、別途ご注文ください。

真空中での連続動作では、発熱により動作パラメータを制限する必要が生じる場合があります。

When measuring position specifications, typical velocity is used. The data is included in the delivery of the product in the form of a measurement report and is stored at PI.

The maximum travel ranges of the individual coordinates (X, Y, Z, θX, θY, θZ) are interdependent. The data for each axis shows its maximum travel range when all other axes are in the zero position of the nominal travel range and the default coordinate system is in use, or rather when the pivot point is set to 0,0,0.

PI では、技術データは 22 ±3 ℃ において規定されています。記載がない限り、数値は負荷のない条件のもとにあります。一部の特性は相互に依存しています。「typ.」の表記は、特性の統計的な平均値を示すものであり、供給されるすべての製品に対して保証値を示すものではありません。製品の最終検査では、すべての特性ではなく、選択された特性のみが分析されます。一部の製品特性は、使用時間の増加に伴って劣化する可能性がある点にご注意ください。

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製品についての注意事項

日付 / バージョン

2021-01-15

pdf - 186 KB

英語

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日付 / バージョン

2019-04-04

pdf - 367 KB

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