真空対応アイテムの製品シリーズ

PIは、高真空(HV)または超高真空(UHV)にすでに適した特定の製品シリーズの特定のカタログアイテムを提供しています。

さらに、ほとんどの多軸ソリューションは、真空での使用のために要求に応じて変更できます。真空設計についての更なる情報については>> 真空テクノロジーページ

ヘキサポッド

H-850.V 真空対応6軸ヘキサポッド

80kgまでの荷重に対応
  • Travel ranges X/Y/Z [mm]: ±50/±50/±25
  • Max. load horiz./any [kg]: 80/40
  • Min. incr. motion X/Y/Z [µm]: 0.3/0.3/0.2
  • Holding force horiz./any [N]: 2000/500
  • Vacuum compatible [hPa]: 10-6

H-811.I2V 真空-対応 6-軸 ミニチュア ヘキサポッド

高速、コンパクト、高精度
  • Travel ranges X/Y/Z [mm]: ±17/±16/±6.5
  • Max. load horiz./any [kg]: 5/2.5
  • Max. velocity [mm/s]: 10
  • Min. incr. motion X/Y/Z [µm]: 0.2/0.2/0.08
  • Vacuum compatible [hPa]: 10-6

H-824.V 真空対応6軸ヘキサポッド

コンパクトで高精度
  • Travel ranges X/Y/Z [mm]: ±22.5/±12.5/±7.5
  • Max. load horiz./any [kg]: 5/2.5
  • Max. velocity X/Y/Z [mm/s]: 12.5
  • Min. incr. motion X/Y/Z [µm]: 0.3/0.3/0.3
  • Vacuum compatible [hPa]: 10-6
PI P-911KNMV

P-911KNMV UHV対応小型ピエゾヘキサポッド

強磁場中でも高精度位置決め

直線、回転、昇降ステージおよびアクセサリ

RS-40 V7 Compact Rotation Stage Suitable for Vacuum

Precision Positioning

M-110 • M-111 • M-112 V6 Vacuum-Compatible Compact Linear Stage

XY(Z) Combinations with DC Gear Motor, Various Travel Range Variants

VT-80 V6 Linear Stage Suitable for Vacuum

Basic Version for Universal Fields of Use

L-611 V6 • V7 • V9 Precision Rotation Stage Suitable for Vacuum

High Travel Accuracy

L-509 V6 • V7 • V9 Precision Linear Stage Suitable for Vacuum

Compact Design, for Loads to 10 kg

L-310 V6 Precision Z Stage Suitable for Vacuum

Can be Compactly Combined with Linear and Rotation Stages
PI L-500

L-500 アダプターブラケット

リニアステージと回転ステージの縦置き用
Adapter Bracket

AB-65 Adapter Bracket

For Vertical Mounting of Linear and Rotation Stages
VFxx Vacuum Feedthroughs

C-815.VFxx Vacuum Feedthroughs

Interfaces Between Air Side and High Vacuum (HV) or Ultrahigh Vacuum (UHV)

L-220 V6 High-Resolution Linear Actuator Suitable for Vacuum

Suitable for High Cycle Numbers

ピエゾアクチュエータ ステージ

N-470.V PiezoMike Linear Actuator

最小サイズで大きな力による安定したポジショニング 10-6hPaまでの真空対応
Preloaded Piezo Actuators

P-841 Preloaded Piezo Actuators

Compact Actuators for High Loads and Forces, with Position Sensor

P-733.3 XYZ Piezo Nanopositioner

High-Precision XYZ Scanner with Aperture

P-733.2 XYピエゾナノポジショナー

高精度開口部付XYスキャナー

P-216 PICA Power Piezo Actuator

Preloaded Piezo Actuators (HVPZT) with Sensor Option

P-212 PICA Power Piezo Actuator

Preloaded Piezo Actuators (HVPZT) with Sensor Option

P-620.Z - P-622.Z PIHera Vertical Precision Positioner

Variable Travel Ranges and Axis Configuration

P-845 Preloaded Piezo Actuators

For High Loads and Forces, with Position Sensor

P-844 Preloaded Piezo Actuators

For High Loads and Forces

P-843 Preloaded Piezo Actuators

For High Loads and Forces, with Position Sensor

P-842 Preloaded Piezo Actuators

For High Loads and Forces

P-840 Preloaded Piezo Actuators

Compact Actuators for High Loads and Forces

P-753 LISAリニアアクチュエータとステージ

ダイナミックで安定した位置決め

P-561 • P-562 • P-563 PIMarsナノポジショニングステージ

3軸対応可能な高精密ナノポジショニングシステム

P-518 • P-528 • P-558 ピエゾフレクシャZ/チップ/チルトステージ

大型開口部つき ハイダイナミクス

P-363 PicoCube XYZピエゾスキャナー

プローブ顕微鏡スキャン用ハイダイナミクスナノポジショニングシステム

P-235 PICA電力ピエゾアクチュエータ

プリロード付高荷重ピエゾアクチュエータ(HVPZT)センサーオプション付

P-225 PICA電力ピエゾアクチュエータ

プリロード付高荷重ピエゾアクチュエータ(HVPZT)センサーオプション付

N-480 PiezoMike Miniature Mirror Holder

With N-470 Linear Actuators

P-620.2 – P-629.2 PIHeraXYピエゾステージ

多様なトラベルレンジ対応可能な高精度XYナノポジショナー

P-620.1 – P-629.1 PIHeraピエゾリニア精密ポジショナー

多様なトラベルレンジと軸構成

センサ

Capacitive Sensors

D-015 • D-050 • D-100 Capacitive Sensors

Subnanometer-Resolution Position Sensors