E-610アンプ/サーボコントローラモジュールは、低電圧ピエゾアクチュエータと位置決めシステムを制御するために設計されています
低電圧範囲で140mAのピーク電流を入出力できる低ノイズのピエゾ アンプを内蔵しています。E-610.00（アンプのみ）とE-610.S0、E-610.L0、E-610.C0の4つのバージョンが用意されています
E-610.S0は、歪みゲージ位置決めセンサーを備えたピエゾ機構、LVDTセンサーを搭載したシステムのE-610.L0、容量センサーを搭載したシステムのE-610.C0用に設計されています
E-610モジュールは、クローズドループ制御と電圧制御の両方でピエゾアクチュエータとピエゾ位置決めシステムの精密制御を提供します。ピエゾコントローラは、位置検出および位置制御用の電子機器を有しています。
制御信号はピエゾ位置をダイレクトに制御します。ピエゾメカニクス及びセンサタイプにより、ナノメートル範囲内の位置決め精度及び再現性が可能
E-621型およびE-625型は、デジタルPCインターフェイスを介して制御することが可能です。また、PCからD / Aコンバータを介してアナログ制御が可能です。
PI社はナショナルインスツルメンツの特定のD / Aコンバータボード用のソフトウェアで使用するためのフルドライバセットを提供しています。
E-610.00
E-610.C0 / E-610.S0 / E-610.L0
機能
ピエゾアンプ1チャンネル OEMモジュール
ピエゾアンプ/サーボコントローラ1チャンネル OEMモジュール
コントローラタイプ
–
P-I(アナログ）ノッチフィルター
センサータイプ
静電容量
SGS
LVDTセンサー
入力電圧範囲
-2 ～12 V
出力電圧
-30 ～130 V
ピーク電流 (5 ms)
140 mA
平均出力電流
60 mA
ノイズ、0～100 kHz
1mVrms
電圧ゲイン
10 ±0.1
入力インピーダンス
100 kΩ
入力/出力
32 (m) 後面（DIN47612/D)
ピエゾ接続部（ソケット）
LEMO
センサー接続
センサーモニター出力
0-10V
DCオフセットセッティング
外部ポテンショメータ（出荷範囲外）は、入力電圧に0〜10Vを加えます
動作温度範囲
5-50 °C
5-50 ℃
寸法
7 HP / 3 RU
質量
0.3 kg
0.35kg
動作電圧
12-30 V DC(安定化)
最大消費電力
2 A
E-610.C0 Piezo Controller / Amplifier (OEM)
E-610.S0, E-610.L0, E-610.00 Piezo Controller / Amplifier (OEM)
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PI社のドライブテクノロジーの比較: ピエゾモータ、ステッピングドライブ、超音波ドライブ、ピエゾ慣性ドライブ。
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